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| 更新時間 2024-11-01 09:00:00 價格 請來電詢價 品牌 菏澤花王 產地 山東菏澤 規格 按需 聯系電話 17515406899 聯系手機 17515406899 聯系人 陳子輝 立即詢價 |
吉林省做化工設備的廠家,吉林省做石化設備的廠家,吉林省做壓力容器的廠家根據工藝要求,應對潔凈室(區)的空氣參數進行監視、測量和記錄。
4.2.2 潔凈室(區)的監控系統與凈化空調的監控系統宜合用,或采用通信的方式進行數據共享。
4.2.3 多個潔凈室(區)采用一套監控系統時,應根據嚴格的潔凈室(區)的溫度和濕度要求選擇控制系統的精度。
4.2.4 潔凈室(區)內外的壓差檢測,宜采用壓差變送器監測。
4.2.5 潔凈室(區)安裝有過濾器時,吉林省做化工設備的廠家,吉林省做石化設備的廠家,吉林省做壓力容器的廠家宜具有過濾器壓差報警功能。
4.2.6 傳感器宜對化學物質沉積采取防護措施或具備自潔功能。
.1 供暖、通風與空氣調節系統監控應對供暖、通風、空調系統的運行工況進行監視、控制、測量和記錄。
4.3.2 凈化空調與一般空調的控制系統宜分開設置。
4.3.3 供暖、通風與空氣調節系統監控應對送排風機及新風空調機組的運行狀態、故障報警、啟??刂?、手自動切換進行監控。
4.3.4 潔凈室(區)的送風、回風和排風系統的啟停宜連鎖。吉林省做化工設備的廠家,吉林省做石化設備的廠家,吉林省做壓力容器的廠家當連鎖控制時,宜采用措施對各部分的運行狀態進行確認;當各部分的運行狀態不滿足要求時,應報警。
4.3.5 凈化空調系統的風機宜采用變頻控制,變頻器的數據宜通過通信的方式獲得。
4.3.6 冬季存在結凍可能的新風機組、空調機組應設置防凍保護措施。
4.2.1 對溫度、濕度、露點溫度、壓差、潔凈度、空氣成分等全部或部分空氣參數進行監視、測量和記錄,并及時報警,維持潔凈環境,滿足工藝生產的要求。
對于生產新型顯示器件及半導體器件的潔凈室環境,吉林省做化工設備的廠家,吉林省做石化設備的廠家,吉林省做壓力容器的廠家懸浮分子污染物(Airborne Molecular Contaminants,AMC)的控制越來越重要。國際半導體設備與材料協會(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)的標準根據化學品的特性,將潔凈室中的空氣污染物分為酸(Molecular Acids,MA)、堿(Molecular Bases,MB)、可凝聚物(Molecular Condensables,MC)和摻雜物(Molecular Dopants,MD)。
4.2.2 系統合用便于統一管理,保證數據傳輸的可靠、及時;如分開設置,需采取措施保證不同監控系統間數據通信的可靠、及時。
4.2.3 在同一棟生產廠房內,工藝段對潔凈環境的溫度、濕度、壓力要求不同,但控制系統共用時,控制系統的選擇應滿足嚴格的要求。
4.2.6 個別生產工藝段有化學沉積現象,化學物質沉積在敏感元件處時會影響測量精度,嚴重的會使傳感器失去功能,因此,吉林省做化工設備的廠家,吉林省做石化設備的廠家,吉林省做壓力容器的廠家要采取適當的防護措施。
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