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      100立方液化氣罐生產廠家,100立方丙烷儲罐生產廠家,100立方LPG儲罐生產廠家

      更新時間
      2024-11-01 09:00:00
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      菏澤花王
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      100立方液化氣罐生產廠家,100立方丙烷儲罐生產廠家,100立方LPG儲罐生產廠家潔凈區的送風方式有集中送風、風機過濾器機組(FFU)形式。目前,大規模集成電路廠房,潔凈區面積大、潔凈度等級高、送風量很大,通常采用FFU送風方式。對于規模較小的實驗室,由于面積小,潔凈度等級較低,送風量較小,可采用集中送風方式或FFU送風方式。FFU送風方式,由于空氣循環路徑短,氣流速度低,阻力損失小,風機送風壓頭低,單位送風量電耗較集中送風方式低。對于潔凈度等級高的潔凈室,推薦采用風機過濾器機組(FFU)送風。
      10.1.9 硅集成電路芯片廠房潔凈室規模較大,新風量很大,通常采用多臺新風機組集中處理新風,集中處理新風具有以下優點:
          1 新風集中處理可以去除新風中絕大部分的灰塵,有效延長了末級高效空氣過濾器(HEPA)、超高效空氣過濾器(ULPA)的使用壽命;
          2 新風集中處理有利于去除新風中的水溶性化學污染物,100立方液化氣罐生產廠家,100立方丙烷儲罐生產廠家,100立方LPG儲罐生產廠家降低了末級化學過濾器的負荷;
          3 新風集中處理有利于潔凈室濕度控制,避免冷熱抵消,節約能耗; 硅集成電路芯片工廠的工藝排風系統設計,應按工藝設備排風性質的不同分別設置獨立的排風系統。

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      10.2.2 凡屬下列情況之一時,應分別設置獨立的排風系統:
          1 兩種或兩種以上的氣體有害物混合后能引起燃燒或爆炸時;
          2 混合后發生反應,形成危害性更大或腐蝕性的混合物、100立方液化氣罐生產廠家,100立方丙烷儲罐生產廠家,100立方LPG儲罐生產廠家化合物時;
          3 混合后形成粉塵時。
      10.2.3 潔凈區事故排風系統的設計應符合現行國家標準《采暖通風與空氣調節設計規范》GB 50019的規定。
      10.2.4 使用有毒有害物質的房間排風量應滿足小通風量6次/h。
          4 通常芯片廠房新風機組有多臺,并設置備用機組,宜并聯運行。100立方液化氣罐生產廠家,100立方丙烷儲罐生產廠家,100立方LPG儲罐生產廠家由于工藝設備分期安裝,且生產技術發展升級速度迅速,設備更新升級快,工藝設備排風量會隨運行設備數量和運行負荷率的變化而變化,新風量也是變化的,因此建議新風系統送風機采用變頻措施,以適應新風需求量的變化。
      10.1.11 干盤管是采用中溫冷凍水作為冷媒的空氣換熱設備,安裝潔凈室回風通路上,消除潔凈室內余熱,因其表面溫度高于潔凈室內空氣露點溫度,不會產生冷凝水。干盤管應用于潔凈室,一般迎風面速度控制在2m/s以下,以降低盤管空氣阻力。干盤管正常運行時,不會產生冷凝水,不需要設置集水盤,但考慮到設備和管道檢修,100立方液化氣罐生產廠家,100立方丙烷儲罐生產廠家,100立方LPG儲罐生產廠家建議設置檢修排水設施。

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