管殼式換熱器，U型管式換熱器，板式換熱器，浮頭式換熱器

 管殼式換熱器，U型管式換熱器，板式換熱器，浮頭式換熱器特種氣體站房應布置在獨立的建(構)筑物或生產廠房的特種氣體間內。

3.1.2 布置在生產廠房內的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格等向生產設備供應特種氣體。

3.1.3 布置在單獨建(構)筑物的特種氣體站，管殼式換熱器，U型管式換熱器，板式換熱器，浮頭式換熱器可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、ISO標準集裝瓶組、長管拖車等向生產設備供應特種氣體。

3.1.4 布置在生產區的特種氣體設備應符合下列規定：

    1 特種氣體的允許使用儲存量應符合表3.1.4的規定；
    2 特種氣體應設置氣瓶柜、管殼式換熱器，U型管式換熱器，板式換熱器，浮頭式換熱器排風裝置；
    3 生產區應設置自動消防噴淋系統，并應用防火隔墻與其他區域相互隔離；當特種氣體的使用儲存量超過表3.1.4規定的數量時，應設置特種氣體間。

在電子工廠設計中，當供應和儲存特種氣體量較少時，管殼式換熱器，U型管式換熱器，板式換熱器，浮頭式換熱器為減少氣體管道長度、保證氣體質量，特種氣體站房一般布置在生產廠房內一層的特種氣體間。當供應和儲存特種氣體量較多時，為了安全需要，管殼式換熱器，U型管式換熱器，板式換熱器，浮頭式換熱器規定應將特種氣體站房布置在單獨的建(構)筑物內，利用室外管道輸送特種氣體至用氣廠房。
3.1.2 布置在生產廠房內的特種氣體間，用量相對較小。根據目前我國及歐美、管殼式換熱器，U型管式換熱器，板式換熱器，浮頭式換熱器的特種氣體供應情況，自燃性、易燃性、性、腐蝕性氣體多采用氣瓶柜供應，氧化性、惰性氣體多采用氣瓶架以及氣體集裝格等多種形式供應。
3.1.3 布置在單獨建(構)筑物或區域內的特種氣體站，根據目前我國及管殼式換熱器，U型管式換熱器，板式換熱器，浮頭式換熱器的特種氣體實際供應情況，通常采用氣體集裝格、臥式氣瓶150標準集裝瓶組、管殼式換熱器，U型管式換熱器，板式換熱器，浮頭式換熱器長管拖車等供應方式。