管殼式換熱器對于4英寸～6英寸芯片生產，由于通常采用片盒開敞式生產，操作區空氣中的塵埃會直接影響硅片電路的電氣性能，因此對于操作區的凈化要求較高。為了節省運行費用，保證凈化要求，通常采用壁板將操作區和低潔凈度要求的設備區分開。

    隨著芯片加工尺寸向8英寸及12英寸發展，對于線寬的要求也越來越高，管殼式換熱器大面積高潔凈度凈化區的造價和運行成本越發昂貴，因此采用標準機械接口加微環境的生產方式成為8英寸及12英寸芯片生產方式的主流。在這種方式中，硅片放置在密閉的片盒中，在運輸和加工過程中不會受到外界環境的污染，因此操作區可以采用較低的凈化等級。同時8英寸及12英寸的生產輔助設備通?？梢苑胖迷谏a區的下技術夾層中，管殼式換熱器以減少在生產區占用的面積，可以提高凈化區的面積利用率，擴大單位面積的產能，因此在生產區中就沒有采用隔墻將操作區和設備區隔開，同時可以提高設備布置的靈活性。
3.3.9 由于硅集成電路生產對環境要求很高，參觀人員進入生產區參觀會對環境及生產產生不利的影響，同時進入潔凈區換鞋、更衣等步驟耗時較多，管殼式換熱器因此通常會在潔凈生產區外設置參觀走